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无尘车间或无尘室的防护准则

无尘车间

或无尘室

的防护准则

此标准适用于所有本篇所定义之无尘室

及洁净区之半导体厂。

洁净区(Clean Zone)

定义为区间内之空气中之灰尘粒子浓度控制在一定的范围内。

无尘室

(Clean Room)

定义为房间内之空气中之灰尘粒子浓度控制在一定的范围内。

压缩气体(Compressed Gas)

于容器中之任何气体或混合气体其在70OF(21.1℃)时,绝对压力大于40psi(275.8Kpa);或在

70 OF时绝对压力小于40psi,但在130OF(54.4℃)时其压力大于104psi;或易燃性气体在100 OF

(37.8℃)时,其蒸气压大于40psi称为压缩气体。

目的

本标准旨在提供无尘室

避免火灾及相关危害合理的安全防护,而这些防护措施可避免或减少人员及财产之损害。

此准则适用于东莞无尘车间

.以上几个方面列出做为参考.